有機(jī)、有機(jī)復(fù)合膜在電致發(fā)亮器件中的利用

有機(jī)、有機(jī)復(fù)合膜在電致發(fā)亮器件中的利用
1、小引
　　 有機(jī)電致發(fā)亮呆滯預(yù)示器存在全固態(tài)、分量輕、薄厚薄、視角大、構(gòu)造容易等特點(diǎn)，能在高溫、震撼等頑劣條件中運(yùn)用，況且能夠兌現(xiàn)大面積的黑白靜態(tài)預(yù)示，有著很狹小的利用前景。
　　 傳統(tǒng)的電致發(fā)亮預(yù)示器的構(gòu)造如圖1所示，是由玻璃、通明下電極、下介質(zhì)層、發(fā)亮層、上介質(zhì)層和上電極組成，上、下介質(zhì)層對(duì)稱散布于發(fā)亮層兩側(cè)，為保障器件的耐壓性能，其正常運(yùn)用低介電常數(shù)介質(zhì)層(介電常數(shù)低于50)。傳統(tǒng)的電致發(fā)亮預(yù)示器中上介質(zhì)層和下介質(zhì)層正常采納的是五氧化二鉭、三氧化二釔、三氧化二鋁、三氧化二釤、二氧化鉿等低介電常數(shù)的資料，又為了維持較低的閾值電壓，介質(zhì)層的薄厚正常只能做到300-700納米之間，那樣薄的膜在制備內(nèi)中中對(duì)條件的務(wù)求高，而且單層膜也不大適宜利用于高介電常數(shù)、高雪崩閾值場(chǎng)強(qiáng)的發(fā)亮資料的有機(jī)電致發(fā)亮預(yù)示器件中。為了達(dá)成有機(jī)器件的務(wù)求，經(jīng)過(guò)對(duì)各族有機(jī)介質(zhì)資料繼續(xù)復(fù)合，定然水平上普及了器件中涂層的牢靠性。然而那樣薄的資料在制作內(nèi)中中很難防止孔洞、污垢染指等狀況產(chǎn)生，而造成介質(zhì)層絕緣性能上升，在測(cè)試屏?xí)r造成漏電、擊穿、打火、斷線等狀況產(chǎn)生。
圖1有機(jī)EL預(yù)示器件的構(gòu)造簡(jiǎn)圖
　　 為了防止有機(jī)介質(zhì)層存在的這種缺點(diǎn)，白文說(shuō)明了一種采納有機(jī)資料復(fù)合有機(jī)介質(zhì)層來(lái)加強(qiáng)介質(zhì)層的絕緣性能，從而緩解乃至肅清器件作業(yè)時(shí)涌現(xiàn)的漏電、打火、擊穿等景象，普及器件電致發(fā)亮性能。
2、試驗(yàn)
　　 白文中介人紹的有機(jī)/有機(jī)復(fù)合步驟，是將有機(jī)膜旋涂在已制備好有機(jī)介質(zhì)層的玻璃基板上，并能夠依據(jù)理論須要將其光刻成所需圖形。經(jīng)過(guò)旋涂、加熱等內(nèi)中制作的有機(jī)膜崎嶇度比擬高，無(wú)效補(bǔ)償了因?yàn)橛袡C(jī)介質(zhì)地膜制作內(nèi)中中造成的一些孔洞、缺點(diǎn)而招致的漏電、打火等平衡固成分，增多了介質(zhì)膜名義的勻稱性；有機(jī)資料介電常數(shù)通常比擬低，因而經(jīng)過(guò)有機(jī)膜的引入，普及了介質(zhì)層通體的絕緣性和耐壓牢靠性，從而普及了器件的作業(yè)穩(wěn)固性。
　　 率先預(yù)備鍍有ITO的基板玻璃，而后將ITO光刻成列電極圖形，下介質(zhì)層經(jīng)過(guò)電子束蒸鍍50nm的Al2O3地膜和磁控濺射法[4]制備800nm左右的鈦酸鍶鋇/鈦酸鍶（BST/ST）地膜，制備好下介質(zhì)層后，電子束蒸鍍500nm左右的硫化鋅摻錳的發(fā)亮層，發(fā)亮層通過(guò)低溫退火使其結(jié)晶，再經(jīng)過(guò)電子束和磁控濺射合議制備薄厚別離為100nm/450nm/150nm的HfO2/Ta2O5/Al2O3的上介質(zhì)層，上介質(zhì)層制備實(shí)現(xiàn)，在其上旋涂一層有機(jī)膜，本試驗(yàn)中運(yùn)用的有機(jī)膜為一種感光型膠，能夠經(jīng)過(guò)光刻目的將其光刻成截面為倒三角狀的隔離柱圖形，如圖2所示，實(shí)現(xiàn)有機(jī)膜的涂敷成形后，再經(jīng)過(guò)200攝氏度左右的熱度使其堅(jiān)膜。所以有機(jī)膠被光刻成截面為倒三角狀圖形，因而在其上間接蒸鍍鋁上電極，能夠被倒三角狀隔離柱隔扇，構(gòu)成條狀的行電極。工藝參數(shù)如次表1所示。
表1工藝參數(shù)
3、綜合與探討
　　 用此步驟制作了有機(jī)EL2英寸（128x64像素）矩陣屏A#，齊頭并進(jìn)行了電學(xué)性能測(cè)試，與未在上介質(zhì)層上制作有機(jī)膜，利用間接掩模合議制作上電極的屏B#繼續(xù)了比擬，L-V曲線見(jiàn)圖3，從后果能夠看出屏A#的發(fā)射閾值電壓略有普及，但測(cè)試內(nèi)中中的打火點(diǎn)、斷線等景象顯然縮小，在介質(zhì)層上增多一道制作有機(jī)膜的工藝，通過(guò)光刻工藝，只容留隔離柱，像素上的有機(jī)膜大全體被顯影去除，然而通過(guò)旋涂、加熱等內(nèi)中有機(jī)膜較好的補(bǔ)償了有機(jī)介質(zhì)層的一些缺點(diǎn)、孔洞，很好地普及了上介質(zhì)層的耐壓絕緣性能，進(jìn)而普及了屏的發(fā)亮穩(wěn)固性。
圖32寸矩陣屏測(cè)試的L-V曲線
4、論斷
　　 試驗(yàn)中介人紹的是一種感光型膠，也能夠依據(jù)理論須要選用非感光型有機(jī)膠來(lái)復(fù)合有機(jī)介質(zhì)膜，比如PMMA（聚甲基丙烯酸甲酯）、olyimide(聚酰亞氨)、PET（Polyethyleneterephthalate）等無(wú)機(jī)物。那末選用非感光型膠，能夠省去后續(xù)的暴光、顯影等步調(diào)，不過(guò)旋涂薄厚要掌握在50-200nm，那樣不至于普及閾值電壓。比如選用非感光型的PMMA涂敷，它通明性、耐熱性好，在常溫下存在較高的拉伸強(qiáng)度、蜿蜒度和壓縮強(qiáng)度，況且存在耐酸、堿等性能，經(jīng)過(guò)旋涂，PMMA可優(yōu)化有機(jī)介質(zhì)層的名義，減小地膜名義的毛糙度，介質(zhì)層名義的起伏度小于0.7nm，即填補(bǔ)了有機(jī)介質(zhì)膜名義的缺點(diǎn)、孔洞，也為制作上電極提供了良好的基底。有機(jī)膜能夠經(jīng)過(guò)相反工藝制作在有機(jī)介質(zhì)層上，經(jīng)過(guò)有機(jī)膜的復(fù)合，加強(qiáng)了介質(zhì)層的牢靠性，電性能測(cè)試時(shí)打火、斷線、擊穿等景象也顯然縮小，是一種易于兌現(xiàn)況且在電致發(fā)亮預(yù)示器中卓有成效的步驟。
　

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