靜態(tài)流導(dǎo)法校準(zhǔn)真空計(jì)的步驟

靜態(tài)流導(dǎo)法校準(zhǔn)真空計(jì)的步驟
靜態(tài)流導(dǎo)法有時(shí)也稱為靜態(tài)流量法和小孔法校準(zhǔn)，它是構(gòu)建在氣旋陸續(xù)性原理、分子流狀態(tài)和等溫條件根底上的，因?yàn)槭庆o態(tài)校準(zhǔn)，吸氣和放氣的莫須有很小。在分子流狀態(tài)下，流導(dǎo)公為構(gòu)造多少何尺寸的因變量，與壓力無(wú)干。其校準(zhǔn)上限隨真空失掉和小流量測(cè)量程度而蔓延。是眼前超高真空和極高真空的切實(shí)可行的校準(zhǔn)步驟。
靜態(tài)流導(dǎo)法校準(zhǔn)原理是依據(jù)氣體分子靜止論原理，利用薄壁小孔作規(guī)范流導(dǎo)產(chǎn)生已知工業(yè)氣壓力的。
圖30：靜態(tài)流導(dǎo)法校準(zhǔn)真空計(jì)的步驟
圖30是這種校準(zhǔn)步驟原理示用意。率先將校準(zhǔn)室壓力抽至校準(zhǔn)壓力上限以次2～3個(gè)單位級(jí)，那樣劃算校準(zhǔn)壓力時(shí)可疏忽本底的莫須有。校準(zhǔn)氣體以穩(wěn)固流量pG經(jīng)過(guò)針閥K，由進(jìn)上呼吸道注入校準(zhǔn)室。氣體以分子流流經(jīng)一薄壁小孔并由真空零碎抽除。在達(dá)成靜態(tài)失調(diào)時(shí)，在小孔上方的校準(zhǔn)室構(gòu)建起已知的工業(yè)氣壓力p，用它來(lái)校準(zhǔn)真空計(jì)G。校準(zhǔn)室的壓力可由式29劃算。
因?yàn)榱闼榈臒o(wú)效抽速比小孔流導(dǎo)大很多，故使得小孔上游的壓力戶。遠(yuǎn)小于校準(zhǔn)室壓力p，那樣小孔上游壓力測(cè)量值誤差對(duì)校準(zhǔn)壓力的莫須有很小。因而，只有依據(jù)校準(zhǔn)氣體流量qG、小孔流導(dǎo)C和小孔上游壓力pb，就能夠劃算出校準(zhǔn)室壓力來(lái)。
校準(zhǔn)氣體的流量qG由流量表測(cè)量。流量規(guī)模為10-7～10-3Pam3s-1，其測(cè)量精度可達(dá)士O.5％，壓力校準(zhǔn)規(guī)模是10-5～lO-1Pa。
因?yàn)楹茈y測(cè)定微弱的流量，也就間接制約了校準(zhǔn)壓力上限。采納分流的方法，能擴(kuò)大壓力校準(zhǔn)上限，這就是二級(jí)靜態(tài)流導(dǎo)校準(zhǔn)法。與真空計(jì)校準(zhǔn)有關(guān)的篇章：真空計(jì)校步驟準(zhǔn)概述動(dòng)態(tài)收縮校準(zhǔn)低真空計(jì)步驟靜態(tài)流導(dǎo)法校準(zhǔn)真空計(jì)的步驟規(guī)范壓縮式真空計(jì)比對(duì)校準(zhǔn)真空計(jì)的步驟

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